本標準規(guī)定了電子特氣氣瓶更換操作的術(shù)語和定義、相關(guān)技術(shù)要求、操作流程等內(nèi)容。本標準適用于半導體、LED、微電子、光伏太陽能等行業(yè)中進行SiH4、Cl2、BCl3、SF6、CHF3、NH3等電子特氣氣瓶的更換操作。其它行業(yè)或其它特種氣體氣瓶的更換可參照本規(guī)范執(zhí)行。
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