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電子特氣氣瓶更換操作規(guī)范

標 準 號: DB13/T 5290-2020
替代情況:
發(fā)布單位: 河北省市場監(jiān)督管理局
起草單位:
發(fā)布日期: 2020-11-19
實施日期: 2020-12-19
點 擊 數(shù):
更新日期: 2024年04月12日
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內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了電子特氣氣瓶更換操作的術(shù)語和定義、相關(guān)技術(shù)要求、操作流程等內(nèi)容。本標準適用于半導體、LED、微電子、光伏太陽能等行業(yè)中進行SiH4、Cl2、BCl3、SF6、CHF3、NH3等電子特氣氣瓶的更換操作。其它行業(yè)或其它特種氣體氣瓶的更換可參照本規(guī)范執(zhí)行。

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