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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體器件和集成電路制造用硅退火拋光片的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則等。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于線寬180nm、130nm 和90nm 工藝退火硅片。