本標準規(guī)定了4H及6H碳化硅單晶拋光片的要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、儲存、質(zhì)量證明書及訂貨單（或合同）內(nèi)容。
本標準適用于4H及6H碳化硅單晶研磨片經(jīng)單面或雙面拋光后制備的碳化硅單晶拋光片。產(chǎn)品主要用于制作半導體照明及電力電子器件的外延襯底。