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基于柔性鉸鏈機構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動器的納米定位與掃描平臺測量方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 38614-2020
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 沈陽建筑大學(xué)、三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司、廣東工業(yè)大學(xué)
發(fā)布日期： 2020-04-28
實施日期： 2020-11-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2020年05月19日
內(nèi)容摘要
本標(biāo)準(zhǔn)適用于平臺的研究、設(shè)計、生產(chǎn)、檢測及使用。?
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