本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用原子力顯微鏡(AFM)測(cè)量表面粗糙度的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量濺射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra 小于100nm 的薄膜。
其他非濺射薄膜的表面粗糙度的測(cè)量可以參考此方法。