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電力能源
>>正文
硅片徑向電阻率變化的測(cè)量方法
標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào):
GB/T 11073-2007
替代情況:
發(fā)布單位:
中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位:
峨嵋半導(dǎo)體材料廠
發(fā)布日期:
2007-09-11
實(shí)施日期:
2008-02-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期:
2020年03月13日
內(nèi)容摘要
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用直排四探針法測(cè)量硅片徑向電阻率變化的方法。
下一篇:
閃爍體性能測(cè)量方法
上一篇:
硅中代位碳原子含量 紅外吸收測(cè)量方法
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Tag:
安全標(biāo)準(zhǔn)
.
電阻率
.
硅片
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